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功能介绍
X光电子能谱法是一种表面分析方法，提供的是样品表面的元素含量与形态，一般，其信息深度约为10nm以内。如果辅以离子刻蚀手段，再利用XPS作为分析方法，则可以实现对样品的深度分析。
一、电子能谱法的特点
1、可以分析除 H 和 He 以外的所有元素；可以直接测定来自样品单个能级光电发射电子的能量分布，且直接得到电子能级结构的信息。
2、从能量范围看，如果把红外光谱提供的信息称之为“分子指纹”，那么电子能谱提供的信息可称作“原子指纹”。它提供有关化学键方面的信息，即直接测量价层电子及内层电子轨道能级。而相邻元素的同种能级的谱线相隔较远，相互干扰少，元素定性的标识性强。
3、是一种无损分析。
4、是一种高灵敏超微量表面分析技术。分析所需试样极少量即可，样品分析深度0.5-10nm 。
二、X 射线光电子能谱法的应用:
东莞X射线光电子能谱机构
1、元素定性分析
2、元素定量分折
3、固体表面分析
4、化合物结构签定
制样要求
1.预处理尺寸要求：块状/片状/薄膜：长宽厚不超出1 cm × 1 cm × 3 mm（磁性样品尽量小）（对块状样品或薄膜样品的测试面做好标记）；粉末样品大于200目，不少于10mg，量少请用称量纸包好再装到管子里寄送。请勿用手触摸样品表面，会引入污染。制好样后请尽快密封，避免其他物质污染；
2.送样前样品需充分干燥，否则影响仪器真空度。高分子样品在送样前应进行干燥处理。若含有高挥发性分子等请务必烘烤；
3.样品含有硫或碘等卤族元素请务必填写或者提前告知，避免污染高真空系统；
4.样品在超高真空及在X射线、紫外线、电子束或Ar离子束照射下应稳定，不分解、不释放气体。