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C1s校正后，其他峰和标准峰峰位相差多少算合理？以及分峰的峰位相差在多少范围内合理？，答：有些峰会偏移的大一些，一般情况，峰位相差0，5eV以内，如果相差过大，需要考虑是否是校正存在问题，XPS之所以无法检测H、He，是因为：1)H和He的光电离界面小，信号太弱；2)H1s电子很容易转移，在大多数情况下会转移到其他原子附近，检测起来非常困难;3)H和He没有内层电子，其外层电子用于成键，H以原子核形式存在。
实用XPS定量分析方法可以概括为标样法、元素灵敏度因子法和一级原理模型，目前XPS定量分析多采用元素灵敏度因子法，该方法利用特定元素谱线强度作参考标准，测得其它元素相对谱线强度，求得各元素的相对含量，根据谱峰形状，结合文献对O1s进行峰拟合，分别是530eV左右的ZnO晶格O的峰(OL)、531，XPS常用AlKα或者MgKαX射线为激发源，能检测周期表中除氢、氦以外的所有元素，一般检测限为0。
当用XPS测量绝缘体或者半导体时，由于光电子的连续发射而得不到电子补充，使得样品表面出现电子亏损，这种现象称为“荷电效应”，荷电效应将使样品表面出现一稳定的电势Vs，对电子的逃离有一定束缚作用，因此荷电效应将引起能量的位移，使得测量的结合能偏离真实值，造成测试结果的偏差，高分辨谱经过分峰拟合之后，就可以用来确定元素的化学态了，或者通过反应前后样品的高分辨谱图对比来得到其表面电子结构的变化信息等等。