超纯水是一种用于半导体制作过程中的洗涤剂。那么,在半导体出产中运用超纯水会有什么影响呢?在用纳米超精密工艺处理半导体时,假如在各种工艺前后留下一个小颗粒,则会导致差错。因而,在各种工艺前后用超纯水清洗晶圆可以保证清洁度并进步半导体出产率(输出)。
超纯水既将水中的导电介质简直彻底去除,又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。这种水中除了水分子外,简直没有什么杂质,更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物,当然也没有人体所需的矿物质微量元素,也就是简直去除氧和氢以外所有原子的水。电阻率大于18M Ω*cm,或接近18.3M Ω*cm极限值(25℃)。
超纯水处理是一般工艺很难到达的程度,莱特莱德选用预处理、反渗透技能、靶向离子交换体系以及后级处理四大步骤,独有的靶向离子交换体系针对超纯水中难处理的硼及其他离子定向去除,保证出水硼离子可以稳定≤5ppt。