真空度指标是各国生产商努力追求的主要指标,它反应了相应的机械加工、密封技术、材料科学等领域的整体实力,也是生产商获取利润的重要手段。要提高真空度指标,就必须有更高的密封条件,因此就需要采用尺寸更精确、材料性能更优异的零部件,于是生产成本就大幅度提高了。而且价格的增幅远远大于真空度指标的增幅。当然,抽气速率的提高也会引起价格的攀升,但其增幅不大。因此,选择hilintec微型真空泵时需要认真考虑真空度指标、抽气速率指标、自己的使用情况等,这样才能最好地兼顾使用性能和成本。 高真空度的微型泵由于采用了非常精密的密封零件,因此它对工作环境的清洁条件、温度参数、介质成分等均有更高的要求。
⑶扩散泵:以低压高速蒸气流(油或汞等蒸气)作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸气射流中,被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的,这种泵适于在分子流状态下工作。可分为: ①自净化扩散泵:泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵。 ②分馏式扩散泵:这种泵具有分馏装置,使蒸气压强较低的工作液蒸气进入高真空工作的喷嘴,而蒸气压强较高的工作液蒸气进入低真空工作的喷嘴,它是一种多级油扩散泵。 ⑷扩散喷射泵:它是一种有扩散泵特性的单级或多级喷嘴与具有喷射真空泵特性的单级或多级喷嘴串联组成的一种动量传输泵。油增压泵即属于这种型式。 ⑸离子传输泵:它是将被电离的气体在电磁场或电场的作用下,输送到出口的一种动量传输泵。
这种泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上,从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵,有以下几种型式。 1)吸附泵 它主要依靠具有大表面的吸附剂(如多孔物质)的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。 2)吸气剂泵 它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种型式。 3)吸气剂离子泵 它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上,以达到抽气的目的。它有如下几种型式。