在高纯气体中,杂质水常用露点表示。露点是指含水分的气体冷却到水汽饱和时的温度。即用等压冷却的方法使被测气体中的水蒸气开始出现露或霜,测量此时的温度,即为该气体的露(霜)点。测量其露点温度便可知气体湿度值。 露点仪是采用此方法设计的湿度计,具有准确度高,测量范围宽的特点。高精密露点仪是目前普遍采用的一种标准仪器。
露点仪的测量方法——电解法 就是将干燥剂吸收的水分经电解池电解成氢气和氧气排出,电解电流的大小与水分含量成正比,通过检测该电流即可测得样气的湿度。该方法弥补了重量法的缺点,测量量程可达-80℃以下,且精度较好,价格便宜;缺点是电解池气路需要在使用前干燥很长时间,且对气体的腐蚀性及清洁性要求较高。
露点仪的测量方法——阻容法 是一种不断完善的湿度测量方法。利用一个高纯铝棒,表面氧化成一层超薄的氧化铝薄膜,其外镀一层多空的网状金膜,金膜与铝棒之间形成电容,由于氧化铝薄膜的吸水特性,导致电容值随样气水分的多少而改变,测量该电容值即可得到样气的湿度。