史爱晶
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2洁净室空调系统 一般洁净室(包括工业洁净室和生物洁净室)可分为两类: 一种是空调净化系统的集中空气处理和集中送风方式。所有送至洁净车间的空气(即消除室内余热、湿度，维持室内正压，保证室内洁净度的所有送风量)均由送风管道进行粗、中效过滤、降温减湿或加热加湿等净化和热湿处理，然后送至洁净车间送风口，经过HEPA或UL。所有回风通过集中回风管道拉回空调机房与新风混合后再次进行一系列热湿处理，如此往复循环。
洁净车间是耗能大户。据了解，大规模集成电路生产的洁净车间用电负荷数万千瓦，其能耗包括:生产设备用电、用热和用冷；净化空调系统的耗电量、耗热量和冷负荷；制冷机组(系统)、排气装置及排出气体所携带的冷(热)负荷的耗电量小于各种气体和纯物质的提取和输送、耗热量和耗冷量、公共设施和照明用电量等。洁净室的能耗是普通办公楼的10-30倍。 在各种能耗中，除了生产设备因产品品种和生产工艺不同而不同外，冰箱的耗电量在总能耗中所占的比重较大，通常可占总能耗的15% ~ 35%，洁净室空调系统的冷负荷是一般空调系统的5倍？十五次。 2.2洁净室空调系统的能耗
洁净室空调净化系统的能耗远大于一般的舒适性空调。随着净化水平的提高，洁净室的空调能耗也急剧增加。洁净室空调系统主要能耗: (1)为了维持洁净室所需的温度和相对湿度，有必要对m线进行必要的热湿处理(冷却、除湿、加热、加湿...)到洁净室，所以需要向空调净化系统和蒸汽供应制冷和制热，消耗大量能源。 (2)为了保证洁净室的洁净度、温度、湿度等参数，必须将大量的空气送入洁净室，送风的风机、供水的水泵等动力设备也消耗了相当大的能量。 (3)上述供冷、供热、供汽所消耗的能源和送风、供水设备所消耗的电力。 (4)洁净室冷负荷的主要负荷是新风冷负荷，它消除了工艺设备和工艺产生的冷负荷，抵消了风机和水泵产生的冷负荷，而围护结构、照明和操作人员三者的冷负荷相对较小，有数据显示其负荷不到高级别洁净车间总冷负荷的10%。