史爱晶
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2洁净室空调系统 一般洁净室(包括工业洁净室和生物洁净室)可分为两类: 一种是空调净化系统的集中空气处理和集中送风方式。所有送至洁净车间的空气(即消除室内余热、湿度，维持室内正压，保证室内洁净度的所有送风量)均由送风管道进行粗、中效过滤、降温减湿或加热加湿等净化和热湿处理，然后送至洁净车间送风口，经过HEPA或UL。所有回风通过集中回风管道拉回空调机房与新风混合后再次进行一系列热湿处理，如此往复循环。
洁净车间是耗能大户。据了解，大规模集成电路生产的洁净车间用电负荷数万千瓦，其能耗包括:生产设备用电、用热和用冷；净化空调系统的耗电量、耗热量和冷负荷；制冷机组(系统)、排气装置及排出气体所携带的冷(热)负荷的耗电量小于各种气体和纯物质的提取和输送、耗热量和耗冷量、公共设施和照明用电量等。洁净室的能耗是普通办公楼的10-30倍。 在各种能耗中，除了生产设备因产品品种和生产工艺不同而不同外，冰箱的耗电量在总能耗中所占的比重较大，通常可占总能耗的15% ~ 35%，洁净室空调系统的冷负荷是一般空调系统的5倍？十五次。 2.2洁净室空调系统的能耗
洁净室的空气处理方式应通过热负荷、湿负荷、风量平衡的计算和经济技术的比较得出，切忌生搬硬套。一般来说，洁净室的循环风量远大于新风量，可以实现二次回风，避免冷热抵消，达到节能的目的。因此，应采用二次回风。二次回风的过程可分为两种方式:新风承担全部冷、热、湿负荷，新风和循环风分别承担冷、热、湿负荷。冷、热、湿总负荷相同，应根据工程具体情况合理采用。对于室内显热负荷大(热湿比大)、空气流通量大的洁净室，由于送风温度与室内温度的温差较小，采用新风空调加FFU(风机过滤机组)和干表面冷却分担冷热负荷是节能的。