史爱晶
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2洁净室空调系统 一般洁净室(包括工业洁净室和生物洁净室)可分为两类: 一种是空调净化系统的集中空气处理和集中送风方式。所有送至洁净车间的空气(即消除室内余热、湿度，维持室内正压，保证室内洁净度的所有送风量)均由送风管道进行粗、中效过滤、降温减湿或加热加湿等净化和热湿处理，然后送至洁净车间送风口，经过HEPA或UL。所有回风通过集中回风管道拉回空调机房与新风混合后再次进行一系列热湿处理，如此往复循环。
洁净车间是耗能大户。据了解，大规模集成电路生产的洁净车间用电负荷数万千瓦，其能耗包括:生产设备用电、用热和用冷；净化空调系统的耗电量、耗热量和冷负荷；制冷机组(系统)、排气装置及排出气体所携带的冷(热)负荷的耗电量小于各种气体和纯物质的提取和输送、耗热量和耗冷量、公共设施和照明用电量等。洁净室的能耗是普通办公楼的10-30倍。 在各种能耗中，除了生产设备因产品品种和生产工艺不同而不同外，冰箱的耗电量在总能耗中所占的比重较大，通常可占总能耗的15% ~ 35%，洁净室空调系统的冷负荷是一般空调系统的5倍？十五次。 2.2洁净室空调系统的能耗
洁净室空调系统能耗高的原因: (1)净化风量大。不同净化级别的洁净室的风量是同面积舒适空调的1.5倍。55倍，送风压力也是2-3倍，所以鼓风机的温升消耗了大量的冷能。 ②洁净室空调净化系统新风量大。一般情况下，新风量等于排风量和正压漏风量之和，所以生产过程排风量大，所以新风量大。因此，新风的热湿处理需要消耗大量的能量。 (3)洁净室中的工艺设备和工艺热值高，连续二班或三班运行。所以能耗也大。 ④洁净室内生产技术对温度、湿度、精度的要求非常高，非常严格。也是能耗高的原因。