史爱晶
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洁净车间是耗能大户。据了解，大规模集成电路生产的洁净车间用电负荷数万千瓦，其能耗包括:生产设备用电、用热和用冷；净化空调系统的耗电量、耗热量和冷负荷；制冷机组(系统)、排气装置及排出气体所携带的冷(热)负荷的耗电量小于各种气体和纯物质的提取和输送、耗热量和耗冷量、公共设施和照明用电量等。洁净室的能耗是普通办公楼的10-30倍。 在各种能耗中，除了生产设备因产品品种和生产工艺不同而不同外，冰箱的耗电量在总能耗中所占的比重较大，通常可占总能耗的15% ~ 35%，洁净室空调系统的冷负荷是一般空调系统的5倍？十五次。 2.2洁净室空调系统的能耗
洁净室的节能 为了降低洁净室的能耗，应从洁净室的规划设计阶段就考虑节能。降低洁净室能耗的主要途径是合理确定洁净室的面积和适当选择洁净度等级。选择先进的低能耗公共电力系统和设备；合理确定洁净室的围护结构等。可以采取的节能措施包括: (1)场地和总平面布置，尽量选择空气污染少、产尘少的场地建厂，洁净室布置在污染少的地方，注意朝向布置。 (2)在工艺布局上，尽可能减少洁净室面积或减少洁净度要求严格的洁净室面积|不能设置在洁净室的工艺和设备应设置在非洁净室<适当确定各类房间的洁净度等级，不随意提出洁净度要求，组织好人流、物流并布置好辅助用房，配合相关专业选择洁净室的形式和空间布局。 (3)合理确定洁净室的建筑形式，减少冷量损失。 (4)优化净化空调系统的空气处理流程。 (5)尽量减少制冷(制热)负荷，
洁净室的空气处理方式应通过热负荷、湿负荷、风量平衡的计算和经济技术的比较得出，切忌生搬硬套。一般来说，洁净室的循环风量远大于新风量，可以实现二次回风，避免冷热抵消，达到节能的目的。因此，应采用二次回风。二次回风的过程可分为两种方式:新风承担全部冷、热、湿负荷，新风和循环风分别承担冷、热、湿负荷。冷、热、湿总负荷相同，应根据工程具体情况合理采用。对于室内显热负荷大(热湿比大)、空气流通量大的洁净室，由于送风温度与室内温度的温差较小，采用新风空调加FFU(风机过滤机组)和干表面冷却分担冷热负荷是节能的。