史爱晶
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根据生产工艺对生产环境的不同要求(温度、湿度、洁净度、正压...)，可以分为四种不同的送风系统。① DC供气系统。 (2)回风供应系统。 (3)一、二次回风送风系统。 ④新风机组(MAU)和循环机组(RCU)送风系统。 其次是空调净化系统中的空气分离和送风方式。一种将送风与空调送风分开的方法，以消除室内余热和湿度，洁净送风，保证室内洁净度水平。即消除室内余热和湿度的空调送风量(约占总送风量的10% ~ 30%)在位于空调机房的空调机组(AHU)或新风机组(MAU)中进行热湿处理，保证室内温度和相对湿度，净化送风量(占总送风量的70% ~ 90%)在洁净室中循环，保证室内洁净度。
洁净车间是耗能大户。据了解，大规模集成电路生产的洁净车间用电负荷数万千瓦，其能耗包括:生产设备用电、用热和用冷；净化空调系统的耗电量、耗热量和冷负荷；制冷机组(系统)、排气装置及排出气体所携带的冷(热)负荷的耗电量小于各种气体和纯物质的提取和输送、耗热量和耗冷量、公共设施和照明用电量等。洁净室的能耗是普通办公楼的10-30倍。 在各种能耗中，除了生产设备因产品品种和生产工艺不同而不同外，冰箱的耗电量在总能耗中所占的比重较大，通常可占总能耗的15% ~ 35%，洁净室空调系统的冷负荷是一般空调系统的5倍？十五次。 2.2洁净室空调系统的能耗
洁净室的节能 为了降低洁净室的能耗，应从洁净室的规划设计阶段就考虑节能。降低洁净室能耗的主要途径是合理确定洁净室的面积和适当选择洁净度等级。选择先进的低能耗公共电力系统和设备；合理确定洁净室的围护结构等。可以采取的节能措施包括: (1)场地和总平面布置，尽量选择空气污染少、产尘少的场地建厂，洁净室布置在污染少的地方，注意朝向布置。 (2)在工艺布局上，尽可能减少洁净室面积或减少洁净度要求严格的洁净室面积|不能设置在洁净室的工艺和设备应设置在非洁净室<适当确定各类房间的洁净度等级，不随意提出洁净度要求，组织好人流、物流并布置好辅助用房，配合相关专业选择洁净室的形式和空间布局。 (3)合理确定洁净室的建筑形式，减少冷量损失。 (4)优化净化空调系统的空气处理流程。 (5)尽量减少制冷(制热)负荷，