西安兆福电子电子束电源产品介绍：

一)电源输入输出参数

电源输入：三相五线 50Hz，AC380V±10% N PE

电源输出：

1) DC -62KV 50mA

2) DC -2000V 25mA

3) DC 10V 20A

高压电源额定功率：3KW

二)输出部分参数描述

高压输出部分

1. 逆变频率：20KHz以上

2. 输出直流高压：0～-62KV 连续可调

3. 输出电流：0-51mA

4. 高压控制调节：用户给定DC 0~10V电压信号对应 0~-60KV

5. 高压检测：电源具有高压实际值测量通道，输出0~10V 信号，此信号对应 0~-62KV，输入到用户作为高压的反馈信号。

6. 线调整率：输入电压变化10%，高压输出变化小于0.1%

7. 静态负载调整率：负载电流0-51mA之间，高压输出变化小于0.1%

8. 动态负载调整率：负载电流0-51mA阶跃变化，高压输出跌落≤360V(0.6%)，并在1-5mS内恢复至设定电压

9. 输出电压纹波：≤0.1%

10. 瞬态响应：在短路或放电后，50ms内恢复至设定电压

11. 温漂系数：50ppm/℃

12. 时漂：小于0.01%

栅偏电压输出部分

1. 逆变频率：≥20KHz。

2. 输出直流电压 DC0～-2000V，25mA，电压连续可调

3. 栅偏控制调节：对应束流0-51mA闭环控制时：自动调节栅偏压达到稳定束流的目的，用户输入信号电压 DC 0~3V，

4. 束流检测：电源具有束流实际值测量通道，输出 DC 0~10V 信号对应 0~51mA，此信号输给用户作为束流的实际值检测信号

5. 束流精度：闭环控制模式下，给定束流与输出束流间偏差≤0.2%

6. 纹波系数 ≤0.1%

7. 上升时间：≤5us

8. 温漂系数：200ppm/℃

9. 时漂：小于0.1%

10. 束流锁零控制信号，当束流锁零为低电平时，锁定偏压为较大值，当束流锁零为低电平时，偏压可调节。

11. 束流给定为0V时，无漏束。

12. 束流反馈是唯一可靠的参考。

灯丝电源部分

1. 逆变频率≥20KHz

2. 输出直流电压 DC 0～10V，20A 连续可调

3. 灯丝电流调节：用户输出信号电压 DC 0~10V 对应灯丝电流 DC 0~20A

4. 电源具有灯丝电流实际值测量通道，输出 DC 0~10V 信号对应 DC0~20A，此信号送给 用户作为电流的实际值检测信号;

5. 有灯丝故障检测电路

6. 灯丝电压纹波系数：≤1%

7. 灯丝电流波纹系数：≤1%

三)接口

1、 控制接口：向用户提供详细的控制接口说明。

2、 放电保护策略：

1) 轻微放电，即电压跌落小于0.2%(可由用户设置)时，高压自行恢复不做处理;

2) 严重放电，即电压跌落大于设定比例，快速关断电源，并快速恢复，并向用户给出高压放电信号，使得用户可检测。

3、 高压接头：型号为CA1，C是偏压，L和S是灯丝。

4、 电源尺寸：高压油箱尺寸430mm*430mm*665mm(含轮),

控制部分机箱：8u标准机箱，深550mm