气体动态配比系统主要用于6路气体的比例混合,设备可以直接更改使用气体的介质以及量程,气体浓度可以比例的调节与放大配比范围。首先整个设备系统管路可以在线抽真空,混合后的气体直接输入到后端的气体浓度分析仪设备中进行浓度分析,分析后的气体可以通过前端的设置做闭环控制程序,进行自动调节。混合后的气体后端可以进行流速调节,还可以同时控制气体的湿度和温度。
1、准确度高、响应时间快 2、浓度分析准,PID自动调节 3、功能齐全,操作方便
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1、准确度高、响应时间快 2、浓度分析准,PID自动调节 3、功能齐全,操作方便