电子显微镜曾经成为表征各种资料的有力工具。 它的多功用性和极高的空间分辨率使其成为许多应用中十分有价值的工具。 其中，两种主要的电子显微镜是透射电子显微镜（TEM）和扫描电子显微镜（SEM）。 在这篇博客中，将扼要描绘他们的类似点和不同点。

扫描电镜和透射电镜的工作原理

从类似点开端, 这两种设备都运用电子来获取样品的图像。他们的主要组成局部是相同的;

· 电子源;

· 电磁和静电透镜控制电子束的外形和轨迹;

· 光阑。

一切这些组件都存在于高真空中。

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如今转向这两种设备的差别性。 扫描电镜（SEM）运用一组特定的线圈以光栅款式扫描样品并搜集散射的电子（ 细致理解SEM中检测到的不同类型的电子 ）。

而透射电镜（TEM）是运用透射电子，搜集透过样品的电子。 因而，透射电镜（TEM）提供了样品的内部构造，如晶体构造，形态和应力状态信息，而扫描电镜（SEM）则提供了样品外表及其组成的信息。

而且，这两种设备zui明显的差异之一是它们能够到达的zui佳空间分辨率; 扫描电镜（SEM）的分辨率被限制在〜0.5nm，而随着zui近在球差校正透射电镜（TEM）中的开展，曾经报道了其空间分辨率以至小于50pm。

哪种电子显微镜技术zui合适操作员停止剖析？

这完整取决于操作员想要执行的剖析类型。 例如，假如操作员想获取样品的外表信息，如粗糙度或污染物检测，则应选择扫描电镜（SEM）。 另一方面，假如操作员想晓得样品的晶体构造是什么，或者想寻觅可能存在的构造缺陷或杂质，那么运用透射电镜（TEM）是*的办法。

扫描电镜（SEM）提供样品外表的3D图像，而透射电镜（TEM）图像是样品的2D投影，这在某些状况下使操作员对结果的解释愈加艰难。

由于透射电子的请求，透射电镜（TEM）的样品必需十分薄，通常低于150nm，并且在需求高分辨率成像的状况下，以至需求低于30nm，而关于扫描电镜（SEM）成像，没有这样的特定请求。