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电子探针射线显微剖析和场发射扫描电镜有什么不同？各自优缺陷是什么？

简单说说，可能不标准。所谓的场发射扫描电镜是指，相较于传统的钨灯丝光源而言，其采用更了为先进的肖脱基场发射光源。采用场发射光源后电子束能量更强，二次电子相（也就是我们平常所说的扫描照片）愈加明晰，放大倍数在理想的状况下能够到达10万倍以上。同时，在停止EBSD的中也具有相当的优势。电子探针，即EPMA, 是一种元素成分的手腕，其根本原理是经过激起物质的本征X射线，获取信号停止元素标定的。

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单纯的从功用上来讲，电子探针能够看做扫描电镜的一个功用，即能谱成分（EDS，EDX）。在点扫的形式下，电子探针精度更高，同时打的点更小，更为精准。假如是停止线扫、面扫，EPMA也会有相对的分辨率优势。值得指出的是，钨灯丝/场发射两种扫描电镜在EDS/EDX上区别不大，场发射电镜普通没有明显优势。当然，这也要分离详细的状况停止剖析。或者说：EPMA>场发射=钨灯丝

总结一下，你要是想测定一小块区域（这个大小还和操作人员有关）的准确成分，能够选用EPMA。这个设备普通也自配一个扫描电镜（用于），但精度较低，没有扫描电镜其他功用（BSE、EBSD等）。