对于高纯气体，微量水含量是评价其质量的重要指标之一。几乎所有的高纯气体都对水分有严格的要求，因为气体的水分不仅能够溶解一些气体组分，而且能够与某些组分发生化学反应生成酸或碱，腐蚀设备或仪器，乃至影响最终产品的质量。因此，只有准确测量和严格控制高纯气体中水分含量，才能保证高纯气体的质量，从而为各领域研究提供可靠的技术基础。 水分子是一种极性较强的分子，不仅容易被容器壁吸附，而且在气体中的数量随温度和压力不同变化很大，故气体中水分的测定不同于一般组分的测定，它通常不能和其它组分一起同时检测，所以要使用测定水分的专用仪器进行测定

露点仪的测量方法——重量法 是一种经典的测量方法。让所测样气流经某一干燥剂，其所含水分 ** 燥剂吸收，精确称取干燥剂吸收的水分含量，与样气体积之比即为样气的湿度。该方法的优点是精度高，最大允许误差可达0.1%;缺点是具体操作比较困难，尤其是必须得到足够量的吸收水质量(一般不小于0.6克)，这对于低湿度气体尤其困难，必须加大样气流量，结果会导致测量时间和误差增大(测得的湿度不是瞬时值)。 因而该方法只适合于测量露点-32℃以上的气体，可以说市场上纯粹利用该方法测湿度的仪器较少。 由以上分析可知，重量法的关键是怎样精确测量干燥剂吸收的水分含量，因为直接测量比较困难，由此衍生了两种间接测量吸收水含量的方法。

露点仪的测量方法——冷镜法 也是一种经典的测量方法。让样气流经露点冷镜室的冷凝镜，通过等压制冷，使得样气达到饱和结露状态(冷凝镜上有液滴析出)，测量冷凝镜此时的温度即是样气的露点。该方法的主要优点是精度高，尤其在采用半导体制冷和光电检测技术后，不确定度甚至可达0.1℃;缺点是响应速度较慢，尤其在露点-60℃以下，平衡时间甚至达几个小时，而且此方法对样气的清洁性和腐蚀性要求也较高，否则会影响光电检测效果或产生'伪结露'造成测量误差。