在高纯气体中,杂质水常用露点表示。露点是指含水分的气体冷却到水汽饱和时的温度。即用等压冷却的方法使被测气体中的水蒸气开始出现露或霜,测量此时的温度,即为该气体的露(霜)点。测量其露点温度便可知气体湿度值。 露点仪是采用此方法设计的湿度计,具有准确度高,测量范围宽的特点。高精密露点仪是目前普遍采用的一种标准仪器。
露点仪的测量方法——振动频率法 就是将重量法中的干燥剂换用一种吸湿性的石英晶体,根据该晶体吸收水分质量不同时振动频率不同的特点,让样气和标准干燥气流经该晶体,因而产生不同的振动频率差△f1和△f2,计算两频率之差即可得到样气的湿度。该方法具有电解法一样的优点,且使用前勿须干燥。
露点仪的测量方法——阻容法 是一种不断完善的湿度测量方法。利用一个高纯铝棒,表面氧化成一层超薄的氧化铝薄膜,其外镀一层多空的网状金膜,金膜与铝棒之间形成电容,由于氧化铝薄膜的吸水特性,导致电容值随样气水分的多少而改变,测量该电容值即可得到样气的湿度。