对于高纯气体，微量水含量是评价其质量的重要指标之一。几乎所有的高纯气体都对水分有严格的要求，因为气体的水分不仅能够溶解一些气体组分，而且能够与某些组分发生化学反应生成酸或碱，腐蚀设备或仪器，乃至影响最终产品的质量。因此，只有准确测量和严格控制高纯气体中水分含量，才能保证高纯气体的质量，从而为各领域研究提供可靠的技术基础。 水分子是一种极性较强的分子，不仅容易被容器壁吸附，而且在气体中的数量随温度和压力不同变化很大，故气体中水分的测定不同于一般组分的测定，它通常不能和其它组分一起同时检测，所以要使用测定水分的专用仪器进行测定

露点仪的测量方法——振动频率法 就是将重量法中的干燥剂换用一种吸湿性的石英晶体，根据该晶体吸收水分质量不同时振动频率不同的特点，让样气和标准干燥气流经该晶体，因而产生不同的振动频率差△f1和△f2，计算两频率之差即可得到样气的湿度。该方法具有电解法一样的优点，且使用前勿须干燥。

露点仪的测量方法——冷镜法 也是一种经典的测量方法。让样气流经露点冷镜室的冷凝镜，通过等压制冷，使得样气达到饱和结露状态(冷凝镜上有液滴析出)，测量冷凝镜此时的温度即是样气的露点。该方法的主要优点是精度高，尤其在采用半导体制冷和光电检测技术后，不确定度甚至可达0.1℃;缺点是响应速度较慢，尤其在露点-60℃以下，平衡时间甚至达几个小时，而且此方法对样气的清洁性和腐蚀性要求也较高，否则会影响光电检测效果或产生'伪结露'造成测量误差。