超纯水是一种用于半导体制作过程中的洗涤剂。那么,在半导体出产中运用超纯水会有什么影响呢?在用纳米超精密工艺处理半导体时,假如在各种工艺前后留下一个小颗粒,则会导致差错。因而,在各种工艺前后用超纯水清洗晶圆可以保证清洁度并进步半导体出产率(输出)。
超纯水是为了研制超纯资料(半导体原件资料、纳米精密陶瓷资料等)运用蒸馏、去离子化、反渗透技能或其它适当的超临界精密技能出产出来的水,不宜饮用。 这样的水是一般工艺很难到达的程度,应该运用超纯水设备进行制备。专业的超纯水设备由预处理(多介质过滤+超滤设备)体系+反渗透体系+EDI电除盐体系+抛光混床体系组成,保证出水水质满足18.2MΩ·cm电子级水产水指标。
半导体业由于技能发展迅速、市场变化大,其出产能力具有波动性。所以,要求与之配套的半导体纯水体系要有一定的可调节性、留有合理的余量,对超纯水设备供水的灵活性,安全性,及时性,提出了更高的要求。莱特莱德半导体纯水体系投入运转后,可以出产出合格的电阻率为18MQ *CM的超纯水,为半导体用水供给用水保障。