跟着半导体工业的不断开展,对清洁水的电导率、离子含量、TOC、do和颗粒物的要求越来越严厉。由于超纯水在许多指标上对半导体的要求很高,因而半导体职业的超纯水与其他职业的用水要求不同。半导体职业对超纯水有极其严厉的水质要求。现在,我国常用的超纯水规范有国家规范《电子级水》(GB/T 11446.1-2013)和美标。 在半导体出产过程中,硼是一种p型杂质。过量会使n型硅反转,然后影响电子和空穴的浓度。因而,在超纯水工业中应充分考虑硼的去除。硼离美标中e1.3中要求小于0.05。假如硼离子含量可以到达较低的指标,则必然会进步半导体的性能。
超纯水确实能喝,但是没有营养价值,喝多了会对人体不利。咱们平常喝的纯净水,去除水中杂质和病毒细菌后,水中还含有丰富的微量元素和矿物质。超纯水是除掉氧原子和氢原子外,没有任何原子存在的水。假如咱们喝下去的话,不只不会带来人体所需求的微量元素,反倒会带走咱们身上的微量元素。 不是真的那就是幻觉喽! 很多人认为超纯水只是比普通的饮用水电导率更高,其他没什么区别。其实咱们平常喝的水在水处理范畴被称为纯水,一般是自来水加上反渗透膜过滤提纯,而超纯水还选用了离子交换。
半导体职业是一个高能耗的职业。在半导体产品制作过程中,由于出产设备的精密性和出产工艺的复杂性,对其配套设施提出了很高的要求,尤其对超纯水体系的运用要求更高。 在半导体制作工艺中,50%以上的工序中硅片与超纯水直接接触、80%以上的工序需求进行化学处理,而化学处理又与超纯水有关水中的杂质会进入硅片,如带入过量的杂质,就会导致器件功能下降、影响产品功能。因而,制备高品质的超纯水已成为发展大规模集成电路的重要前提技能。