2洁净室空调系统 一般洁净室(包括工业洁净室和生物洁净室)可分为两类: 一种是空调净化系统的集中空气处理和集中送风方式。所有送至洁净车间的空气(即消除室内余热、湿度，维持室内正压，保证室内洁净度的所有送风量)均由送风管道进行粗、中效过滤、降温减湿或加热加湿等净化和热湿处理，然后送至洁净车间送风口，经过HEPA或UL。所有回风通过集中回风管道拉回空调机房与新风混合后再次进行一系列热湿处理，如此往复循环。

洁净室空调净化系统的能耗远大于一般的舒适性空调。随着净化水平的提高，洁净室的空调能耗也急剧增加。洁净室空调系统主要能耗: (1)为了维持洁净室所需的温度和相对湿度，有必要对m线进行必要的热湿处理(冷却、除湿、加热、加湿...)到洁净室，所以需要向空调净化系统和蒸汽供应制冷和制热，消耗大量能源。 (2)为了保证洁净室的洁净度、温度、湿度等参数，必须将大量的空气送入洁净室，送风的风机、供水的水泵等动力设备也消耗了相当大的能量。 (3)上述供冷、供热、供汽所消耗的能源和送风、供水设备所消耗的电力。 (4)洁净室冷负荷的主要负荷是新风冷负荷，它消除了工艺设备和工艺产生的冷负荷，抵消了风机和水泵产生的冷负荷，而围护结构、照明和操作人员三者的冷负荷相对较小，有数据显示其负荷不到高级别洁净车间总冷负荷的10%。

洁净室的空气处理方式应通过热负荷、湿负荷、风量平衡的计算和经济技术的比较得出，切忌生搬硬套。一般来说，洁净室的循环风量远大于新风量，可以实现二次回风，避免冷热抵消，达到节能的目的。因此，应采用二次回风。二次回风的过程可分为两种方式:新风承担全部冷、热、湿负荷，新风和循环风分别承担冷、热、湿负荷。冷、热、湿总负荷相同，应根据工程具体情况合理采用。对于室内显热负荷大(热湿比大)、空气流通量大的洁净室，由于送风温度与室内温度的温差较小，采用新风空调加FFU(风机过滤机组)和干表面冷却分担冷热负荷是节能的。