洁净室空调净化系统的能耗远大于一般的舒适性空调。随着净化水平的提高，洁净室的空调能耗也急剧增加。洁净室空调系统主要能耗: (1)为了维持洁净室所需的温度和相对湿度，有必要对m线进行必要的热湿处理(冷却、除湿、加热、加湿...)到洁净室，所以需要向空调净化系统和蒸汽供应制冷和制热，消耗大量能源。 (2)为了保证洁净室的洁净度、温度、湿度等参数，必须将大量的空气送入洁净室，送风的风机、供水的水泵等动力设备也消耗了相当大的能量。 (3)上述供冷、供热、供汽所消耗的能源和送风、供水设备所消耗的电力。 (4)洁净室冷负荷的主要负荷是新风冷负荷，它消除了工艺设备和工艺产生的冷负荷，抵消了风机和水泵产生的冷负荷，而围护结构、照明和操作人员三者的冷负荷相对较小，有数据显示其负荷不到高级别洁净车间总冷负荷的10%。

洁净室空调系统能耗高的原因: (1)净化风量大。不同净化级别的洁净室的风量是同面积舒适空调的1.5倍。55倍，送风压力也是2-3倍，所以鼓风机的温升消耗了大量的冷能。 ②洁净室空调净化系统新风量大。一般情况下，新风量等于排风量和正压漏风量之和，所以生产过程排风量大，所以新风量大。因此，新风的热湿处理需要消耗大量的能量。 (3)洁净室中的工艺设备和工艺热值高，连续二班或三班运行。所以能耗也大。 ④洁净室内生产技术对温度、湿度、精度的要求非常高，非常严格。也是能耗高的原因。

洁净室的空气处理方式应通过热负荷、湿负荷、风量平衡的计算和经济技术的比较得出，切忌生搬硬套。一般来说，洁净室的循环风量远大于新风量，可以实现二次回风，避免冷热抵消，达到节能的目的。因此，应采用二次回风。二次回风的过程可分为两种方式:新风承担全部冷、热、湿负荷，新风和循环风分别承担冷、热、湿负荷。冷、热、湿总负荷相同，应根据工程具体情况合理采用。对于室内显热负荷大(热湿比大)、空气流通量大的洁净室，由于送风温度与室内温度的温差较小，采用新风空调加FFU(风机过滤机组)和干表面冷却分担冷热负荷是节能的。